是真空镀膜中真空系统的工作原理是什么？

真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要ꦛ镀膜的被成为基片，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发。

1,粗抽泵(统称机械泵)他的排气口，直接排放到大气，但极限(能力)小。范围(1E0~大气压)。

2，罗茨泵，必须在排气口接一个机械泵，工作范围(5E-2~1000Pa♛),如果没达到工作范围(1000Pa)以上的真空度，运转罗茨泵，使负🐻载大，烧坏罗茨泵的。

3，分子泵(油扩散泵)：以扩散泵为例，工作范围(1E-7Pa~5pa)，排气口压力高于5Pa(正常9E-1Pa𒆙),ꦉ低于，扩散泵不起作用，还会使扩散泵油氧化。

4，粗抽阀，是机械泵开启后，开启粗抽阀。

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